Sputtercoater Quorum Q300TD

Sputtercoater dienen der Herstellung von metallischen Dünnschichten durch Ar-Sputtern eines Targets. Sequentielles Aufbringen von zwei unterschiedlichen Materialien möglich durch Nutzung von zwei Sputterköpfen.

Gerätespezifikationen

Targets	Au, Cr (werden zur Verfügung gestellt); Edelmetalle oder oxidierende Metalle möglich (Pt, Al, Cu, Ag, etc.)
Targetabmessungen	54-57 mm ø
Vakuum	10^-4 hPa (Turbopumpe)
Probengröße	bis 10 cm ø
Probenrotation
Schichtdickenmonitor
Touchscreen-Bedienung