Sekundärionen-Massenspektrometer Cameca ims5f

Geladene Atome und Moleküle werden aus den obersten Lagen einer Oberfläche unter Ionenbeschuss herausgelöst. Diese Sekundärionen können (mittels Sektorfeldern) massensepariert und detektiert werden.

Gerätespezifikationen

Primärionen	Sauerstoff, Argon oder Cäsium
Primärenergie	1-17 keV (auch abhängig von Ionenquelle und Polarität)
Laterale Auflösung	bis zu ~1 µm
Tiefenauflösung	einige nm
Nachweisgrenze	bis ppb (abhäbngig von Element und Messbedingung)
Probengröße	1 Zoll (2,5 cm) Durchmesser, 1cm Höhe
Messfläche	bis 500 µm x 500 µm
Nachweisbare Elemente	alle (beginnend bei Wasserstoff)
Massenauflösungvermögen	bis 25000