HREM

Philips XL30 FEG

Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (HREM) mit EDX (Energiedispersive Röntgenspektroskopie), EDAX Genesis und Electron Backscatter Diffraction (EBSD), EDAX.

Gerätespezifikationen

Detektoren	SE und BSE
Auflösung (SE)	bis zu 2 nm
EDX System	EDAX Genesis mit Flüssigstickstoff gekühltem herkömmlichem Si(Li)-Typ Detektor, Energieauflösung (~136eV) Electron Backscatter Diffraction (EBSD) System